ALIGNEMENT NON INTRUSIF

Les circuits à microprocesseurs s'utilisent dans un nombre impressionnant de produits de notre environnement domestique quotidien, dans notre voiture ou notre bureau. Cette explosion de la demande au niveau mondial oblige les fabricants de semiconducteurs à améliorer le niveau de qualité et le flux de production d'une façon inimaginable auparavant.

Les systèmes capteurs de position de Capacitec offrent une précision de l'ordre du submicron et aident les fabricants d'équipements de manipulation et de traitement des circuits à déterminer le positionnement exact des tranches de silicium avant dépôt, gravure ou tout autre traitement... Cette opération s'effectue sans risque de contact susceptible d'endommager les surfaces hautement sensibles des tranches de silicium.

D'autres domaines techniques ont également recours à la mesure non intrusive des surfaces sensibles : les presses d'imprimerie, les rouleaux de photocopieurs, les unités de disques durs d'ordinateurs et les matériaux coulés en fusion.

Principales applications des sondes à capteurs capacitifs sans contact :

• Dépôt & gravure sur tranche de silicium

• Espacements sur tranches de silicium

• Découpage / traitement de tranche

• Commande de bras de robot

• Disques durs d'ordinateurs

• Presse d'imprimerie / photocopieurs

• Contrôle de parallélisme / alignement d'outils